在加工微小精密零件時，必須充分考慮到可能使裝（zhuāng）配（pèi）係統產生（shēng）定位誤差的因素，控製裝配係統的定位精度。
此外，當前獲（huò）得複雜微小精密零件的超（chāo）精密加工方法主要有兩種，一種是微（wēi）機電係統技術(MEMS)，另外一種是從傳統機械製造技術發展而來的微細（xì）製造技術。
無論采用哪種技術，都需要先進的測量裝置及（jí）方法，因為零件加工精度的（de）提高對（duì）測量水平的提高（gāo）具有嚴格的依（yī）賴性。
微小精密零件在結構形式、構（gòu）件材料和加工工藝等方麵具有（yǒu）以（yǐ）下特點：
構成材料（liào）主要是金屬、合金或者複合（hé）材料等非矽材（cái）料，這些材料具有優秀（xiù）的機械特性（xìng），如高強度（dù）、高硬度、耐磨損、抗過載、耐高溫或耐腐（fǔ）蝕等，能在惡劣工況條件下正常工作。
微小精密零件廣泛存在於各種微小型係統，包括框架、壁（bì）、腔體、軸、槽、輪（lún）、孔係等多種結構形式，市（shì）場需求量大。
指整體尺度在毫（háo）米級，很難利用常規方法加工的小型零件。
以準三維或三維的立體結構（gòu）為主（zhǔ）的結構形式，深寬比高或長徑比（bǐ）大。
結構複雜，空間緊湊，各個部件（jiàn）之間存在確定（dìng）的（de）連接、傳動或裝配關（guān）係，對形狀和位（wèi）置的精度要求非常（cháng）高，對（duì）於零件表麵（miàn）的精密度要（yào）求較低，不一定要納入納（nà）米級別。
